1.高定位精度---由于线性滑轨移动时摩擦力非常小，属于滚动摩擦，故只需极小的动力即可驱动平台，因为摩擦力小，故而摩擦所产生的热极小，相较于传统的滑动方式，可大幅降低运行轨道接触面的磨损，能长时间维持高定位精度、行走精度与低磨损。

2.高刚性---由于滑轨与轨道采用四方向等负荷设计，故对于来自于各方向之负荷，都须具有足够的抵抗强度，且具备自动调心之能力，可允许较大的安装误差使加工较容易，并可施予足够的预压量以获得高刚性。

3.保养维护容易---相较于传统的滑动系统，均有对于运行的轨道面进行铲花或研磨的动作，因滑动所产生的磨耗性往往使得机台一段时间就必须重新铲花或研磨，旷日费时且成本极高，线性滑轨具有互换性，若进行更换或维修即可恢复机台之行走精度。